据麦姆斯咨询报道位置传感器,Zygo Corporation公司推出了ZPS绝对位置测量系统位置传感器,能够实现各种先进应用位置传感器的高精度测量和位置控制,如可变形光学器件、透镜定位系统和精细平台控制。
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该系统支持最大64同步通道位置传感器的非接触、高精度绝对位置测量,该系统主要包括一款新型超紧凑光学传感器及硬件平台,能够在1.2mm范围内提供极佳的灵敏度、分辨率和稳定性。这款先进的光学传感器不会生产热量,并且无视电磁干扰,测量分辨率可达0.01 nm,测量稳定性优于1 nm/day。
此外,这款ZPS绝对位置测量系统使用光缆传输,可进行远距离传感测量,不会影响测量数据的精度。其可选配件可实现环境状况改变时的实时自动补偿。
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